DSpace JSPUI
DSpace зберігає і дозволяє легкий і відкритий доступ до всіх видів цифрового контенту, включаючи текст, зображення, анімовані зображення, MPEG і набори даних
Дізнатися більше
Будь ласка, використовуйте цей ідентифікатор, щоб цитувати або посилатися на цей матеріал:
http://hdl.handle.net/123456789/6817| Назва: | Фізико-технологічні основи мікросистемної техніки. |
| Автори: | Мандзюк, Володимир Ігорович Когут, Ігор Тимофійович |
| Дата публікації: | 2008 |
| Видавництво: | Нова зоря |
| Бібліографічний опис: | В.І. Мандзюк, І.Т. Когут. Фізико-технологічні основи мікросистемної техніки. – Івано-Франківськ: Нова зоря, 2008. – 154 с. |
| Короткий огляд (реферат): | В посібнику викладені фізико-технологічні основи пристроїв мікросистемної техніки (МСТ). Подано технологію підготовки напівпровід-никових пластин з використанням методів механічної і хімічної обробки, процеси формування діелектричних плівок на напівпровідникових пласти-нах, основи літографічних процесів. Розглянуто основні технології виготов¬лення і принципи функціонування сенсорних і актюаторних елементів МСТ, які отримали найбільше поширення за останні десятиріччя. |
| URI (Уніфікований ідентифікатор ресурсу): | http://hdl.handle.net/123456789/6817 |
| Розташовується у зібраннях: | Навчальні матеріали (ФТФ) |
Файли цього матеріалу:
| Файл | Опис | Розмір | Формат | |
|---|---|---|---|---|
| Microsystem technics.pdf | 3.3 MB | Adobe PDF | Переглянути/Відкрити |
Усі матеріали в архіві електронних ресурсів захищені авторським правом, всі права збережені.