DSpace JSPUI
DSpace зберігає і дозволяє легкий і відкритий доступ до всіх видів цифрового контенту, включаючи текст, зображення, анімовані зображення, MPEG і набори даних
Дізнатися більше
Будь ласка, використовуйте цей ідентифікатор, щоб цитувати або посилатися на цей матеріал:
http://hdl.handle.net/123456789/6817Повний запис метаданих
| Поле DC | Значення | Мова |
|---|---|---|
| dc.contributor.author | Мандзюк, Володимир Ігорович | - |
| dc.contributor.author | Когут, Ігор Тимофійович | - |
| dc.date.accessioned | 2020-05-05T11:19:54Z | - |
| dc.date.available | 2020-05-05T11:19:54Z | - |
| dc.date.issued | 2008 | - |
| dc.identifier.citation | В.І. Мандзюк, І.Т. Когут. Фізико-технологічні основи мікросистемної техніки. – Івано-Франківськ: Нова зоря, 2008. – 154 с. | uk_UA |
| dc.identifier.uri | http://hdl.handle.net/123456789/6817 | - |
| dc.description.abstract | В посібнику викладені фізико-технологічні основи пристроїв мікросистемної техніки (МСТ). Подано технологію підготовки напівпровід-никових пластин з використанням методів механічної і хімічної обробки, процеси формування діелектричних плівок на напівпровідникових пласти-нах, основи літографічних процесів. Розглянуто основні технології виготов¬лення і принципи функціонування сенсорних і актюаторних елементів МСТ, які отримали найбільше поширення за останні десятиріччя. | uk_UA |
| dc.language.iso | uk_UA | uk_UA |
| dc.publisher | Нова зоря | uk_UA |
| dc.title | Фізико-технологічні основи мікросистемної техніки. | uk_UA |
| dc.type | Book | uk_UA |
| Розташовується у зібраннях: | Навчальні матеріали (ФТФ) | |
Файли цього матеріалу:
| Файл | Опис | Розмір | Формат | |
|---|---|---|---|---|
| Microsystem technics.pdf | 3.3 MB | Adobe PDF | Переглянути/Відкрити |
Усі матеріали в архіві електронних ресурсів захищені авторським правом, всі права збережені.