Фізико-технологічні основи мікросистемної техніки.

Please use this identifier to cite or link to this item: http://hdl.handle.net/123456789/6817

Title:	Фізико-технологічні основи мікросистемної техніки.
Authors:	Мандзюк, Володимир Ігорович Когут, Ігор Тимофійович
Issue Date:	2008
Publisher:	Нова зоря
Citation:	В.І. Мандзюк, І.Т. Когут. Фізико-технологічні основи мікросистемної техніки. – Івано-Франківськ: Нова зоря, 2008. – 154 с.
Abstract:	В посібнику викладені фізико-технологічні основи пристроїв мікросистемної техніки (МСТ). Подано технологію підготовки напівпровід-никових пластин з використанням методів механічної і хімічної обробки, процеси формування діелектричних плівок на напівпровідникових пласти-нах, основи літографічних процесів. Розглянуто основні технології виготов¬лення і принципи функціонування сенсорних і актюаторних елементів МСТ, які отримали найбільше поширення за останні десятиріччя.
URI:	http://hdl.handle.net/123456789/6817
Appears in Collections:	Навчальні матеріали (ФТФ)

Files in This Item:

File	Description	Size	Format
Microsystem technics.pdf		3.3 MB	Adobe PDF	View/Open

DSpace JSPUI