DSpace JSPUI
DSpace preserves and enables easy and open access to all types of digital content including text, images, moving images, mpegs and data sets
Learn More
Please use this identifier to cite or link to this item:
http://hdl.handle.net/123456789/7269| Title: | Парофазне осадження тонких плівок телуриду свинцю. І. Планування та оптимізація технології |
| Authors: | Лоп'янко, Михайло Антонович Никируй, Ростислав Іванович Ткачук, Андрій Іванович |
| Keywords: | гаряча стінка плюмбум телурид |
| Issue Date: | 15-Sep-2010 |
| Publisher: | Прикарпатський національний університет ім. В. Стефаника |
| Citation: | М.А. Лоп’янко. Парофазне осадження тонких плівок телуриду свинцю. І. Планування та оптимізація технології/ М.А. Лоп’янко, Р.І. Никируй, А.І. Ткачук// Фізика і хімія твердого тіла, Т. 11, № 4 (2010) С. 876-883 |
| Abstract: | Методами математичного планування багатофакторних експериментів одержано рівняння регресії, які визначають залежність електричних параметрів епітаксійних плівок РbТe на сколах (111) ВаF2 від технологічних факторів вирощування з парової фази методом гарячої стінки. Визначено значення температур випаровування Тв підкладки Тп та стінок камери Тс, при яких формуються тонкі плівки із оптимальними електричними параметрами. |
| URI: | http://hdl.handle.net/123456789/7269 |
| ISSN: | 1729-4428 |
| Appears in Collections: | Статті та тези (ФТФ) |
Files in This Item:
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| 2010 т.11 №4.pdf | 468.8 kB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.