Співімплантація Zn+/As+ та Zn+/Ar+ в монокристали GaAs

Please use this identifier to cite or link to this item: http://hdl.handle.net/123456789/7045

Full metadata record

DC Field	Value	Language
dc.contributor.author	Терлецький, Андрій Іванович	-
dc.contributor.author	Радауцан, Сергій Іванович	-
dc.contributor.author	Тігіняну, Іван Михайлович	-
dc.contributor.author	Урсакі, Вячеслав	-
dc.contributor.author	Dascalu, D	-
dc.contributor.author	Marinescu, R	-
dc.contributor.author	Cobsanu, C	-
dc.date.accessioned	2020-05-10T16:26:29Z	-
dc.date.available	2020-05-10T16:26:29Z	-
dc.date.issued	1993	-
dc.identifier.citation	Radautsan S. I. Zn+/As+ an Zn+/Ar+ co-implantation in GaAs single crystals / S. I. Radautsan, A. I. Terletsky, I. M. Tiginyanu, V. V. Ursaki, C. Cobianu, D. Dascalu, R. Marinescu // Proceedings 16th Edition of Annual Semiconductor Conf., October 12-17, Sinaia, Romania. – 1993. – pp. 465-468.	uk_UA
dc.identifier.uri	http://hdl.handle.net/123456789/7045	-
dc.language.iso	en	uk_UA
dc.publisher	Матеріали 16-ї щорічної конференції з напівпровідників, 12-17 жовтня 1993 р, Сіная, Румунія	uk_UA
dc.subject	арсенід галію	uk_UA
dc.subject	подвійна імплантація	uk_UA
dc.subject	концентраційні профілі	uk_UA
dc.subject	активація домішки	uk_UA
dc.title	Співімплантація Zn+/As+ та Zn+/Ar+ в монокристали GaAs	uk_UA
dc.type	Article	uk_UA
Appears in Collections:	Статті та тези (ФТФ)

Files in This Item:

File	Description	Size	Format
CAS-93.pdf		272.94 kB	Adobe PDF	View/Open

DSpace JSPUI