Сенсори Холла на основі графену: матеріали та підходи до виробництва

Abstract

Графен залишається одним з найбільш досліджуваних матеріалів завдяки своїм унікальним фізичним властивостям та двовимірній структурі. Стаття розглядає сучасний стан ринку графену, який розвивається стрімкими темпами, з прогнозованим обсягом у 1,5 мільярда доларів США до 2027 року. Обговорюються технології виробництва графенових сенсорів Холла, зокрема, метод хімічного осадження з парової фази (CVD), який широко використовується для створення промислових сенсорів. Важливу роль у властивостях сенсорів відіграє вибір підкладки, яка може бути як жорсткою (кремній, сапфір), так і гнучкою (поліімід). Увага приділена метал-графеновим контактам, де крайові контакти мають значно кращу провідність, ніж поверхневі. Автори підкреслюють, що на поточному етапі розвитку графенової електроніки немає єдиного технологічного процесу, як у класичній напівпровідниковій промисловості, що вимагає подальших досліджень для створення більш ефективних сенсорів.