DSpace JSPUI
DSpace preserves and enables easy and open access to all types of digital content including text, images, moving images, mpegs and data sets
Learn More
Please use this identifier to cite or link to this item:
http://hdl.handle.net/123456789/10934| Title: | Вплив ростових домішок на термічне дефектоутворення у монокристалічному кремнію |
| Other Titles: | Influence of growth impurities on thermal defect formation in monocrystalline silicon |
| Authors: | Павловський, Юрій Вікторович Бербець, О. В. Литовченко, Петро Григорович |
| Keywords: | кисень вуглець мікротвердість термічна обробка магнітна сприйнятливість монокристалічний кремній |
| Issue Date: | 2021 |
| Publisher: | ДНВЗ "Прикарпатський національний університет імені Василя Стефаника" |
| Citation: | Павловський Ю. В. Вплив ростових домішок на термічне дефектоутворення у монокристалічному кремнію / Ю. В. Павловський, О. В. Бербец, П. Г. Литовченко // Фізика і хімія твердого тіла. - 2021. - Т. 22. - № 3. - С. 437-443 |
| Abstract: | Досліджено вплив ростових домішок (кисню та вуглецю) на магнітні, мікромеханічні та структурні властивості монокристалів кремнію, вирощених за методом Чохральського, після їх термічної обробки в інтервалі температур 700-1100°С. Вивчено розподіл дефектів, які утворюються при різних температурах відпалу. Виявлено кореляцію між змінами магнітної сприйнятливості, мікротвердості та перебудовою структурних дефектів у кристалах після їх термообробки. Оцінено концентрації та розміри магнітно впорядкованих кластерів. Запропоновано інтерпретацію одержаних експериментальних результатів. |
| URI: | http://hdl.handle.net/123456789/10934 |
| Appears in Collections: | Т. 22, № 3 |
Files in This Item:
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| 4991-Текст статті-12295-1-10-20210801.pdf | 631.55 kB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.