DSpace JSPUI
DSpace preserves and enables easy and open access to all types of digital content including text, images, moving images, mpegs and data sets
Learn More
Please use this identifier to cite or link to this item:
http://hdl.handle.net/123456789/956| Title: | Особливості формування морфології поверхні кремнієвих пластин при дії лазерних імпульсів |
| Other Titles: | Peculiarities of Morphology Formation of Silicon Surface under the Action of Laser Pulses |
| Authors: | Бончик, Олександр Юрійович Кияк, Степан Григорович Могиляк, Іван Адріанович Попович, Дмитро Іванович |
| Keywords: | електронно-діркова плазма рекристалізована область періодичні структури |
| Issue Date: | 2017 |
| Publisher: | ДНВЗ "Прикарпатський національний університет імені Василя Стефаника" |
| Citation: | Бончик О. Ю. Особливості формування морфології поверхні кремнієвих пластин при дії лазерних імпульсів / О. Ю. Бончик, С. Г. Кияк, І. А. Могиляк, Д. І. Попович // Фізика і хімія твердого тіла. - 2017. - Т. 18. - № 3. - С. 309-312. |
| Abstract: | В роботі проведено експериментальні дослідження особливостей геометрії поверхні кремнієвих пластин в зонах дії секундних і мілісекундних лазерних імпульсів. Наведені результати мікроскопічних досліджень періодичних структур, які формуються на поверхнях з кристалографічною орієнтацією (111), (110), (100), а також на площинах, вирізаних під кутом 6о до площини (100) і на аморфних шарах В2О3, нанесених на поверхню кремнію. Одержані результати можуть бути використані для визначення кристалографічної орієнтації поверхні напівпровідників та експресної оцінки ступеня розорієнтації поверхні кристалів. |
| URI: | http://hdl.handle.net/123456789/956 |
| Appears in Collections: | Т 18, № 3 |
Files in This Item:
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| 2269-6439-1-PB.pdf | 1.81 MB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.