Індійзберігаючі тонкі плівки оксиду індію-олова, нанесенні методом магнетронного напилення при кімнатній температурі

Abstract

Індійзберігаючі тонкі плівки оксиду індію-олова нанесені за допомогою магнетронного напилення вчистому аргоні та в змішаній атмосфері аргон-кисень при кімнатній температурі. Для плівок, нанесених вчистому аргоні та підданих термообробці при 923 K величина пропускання плівки у видимій областіспектра перевищувала 85% , а питомий опір становив 2420 мкОм·см. Індійзберігаючі тонкі плівки оксидуіндію-олова безпосередньо після напилення аморфні, та їх кристалічність покращується з підвищеннямтемператури термообробки. Було встановлено, що зростання температури термообробки не підвищуєпропускання плівок при швидкості потоку кисню, що перевищував 0,4 см3/хв