DSpace JSPUI
DSpace preserves and enables easy and open access to all types of digital content including text, images, moving images, mpegs and data sets
Learn More
Please use this identifier to cite or link to this item:
http://hdl.handle.net/123456789/4727| Title: | ФІЗИКА І ТЕХНОЛОГІЯ ТОНКИХ ПЛІВОК Том I ТЕХНОЛОГІЯ ТОНКИХ ПЛІВОК |
| Other Titles: | Навчальний посібник |
| Authors: | Прокопів, Володимир Васильович |
| Issue Date: | 2010 |
| Publisher: | Прикарпатський національний університет імені Василя Стефаника |
| Citation: | Прокопів В. В. Фізика і технологія тонких плівок : навчальний посібник. У 2-х т. – Т. 1. Технологія тонких плівок. Івано-Франківськ : Прикарпатський національний університет імені Василя Стефаника, 2010. 92 с. |
| Abstract: | В посібнику розглянуті властивості тонких плівок та методи їх одержання при виробництві напівпровідникових приладів та інтег-ральних мікросхем. Описані вакуумні системи та устаткування для нанесення тонких плівок. Показано як здійснювати контроль парамет-рів плівок і технологічних режимів їхнього нанесення. У першому томі розглянуто технологічні аспекти тонкоплівко-вого матеріалознавства. Посібник призначений для студентів та магістрантів відповідних спеціальностей вищих навчальних закладів. Корисний буде аспіран-там, науковим та інженерно-технічним працівникам що займаються проблемами тонкоплівкового матеріалознавства. |
| URI: | http://hdl.handle.net/123456789/4727 |
| Appears in Collections: | Навчальні матеріали (ФТФ) |
Files in This Item:
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| ФТТП_I.pdf | 7.98 MB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.