Технології мікроелектроніки. Курс лекцій.

Please use this identifier to cite or link to this item: http://hdl.handle.net/123456789/23803

Title:	Технології мікроелектроніки. Курс лекцій.
Authors:	Мандзюк, Володимир Ігорович
Keywords:	мікроелектроніка технологічний процес інтегральна схема історія розвитку електроніки
Issue Date:	2025
Publisher:	Карпатський національний університет імені Василя Стефаника
Abstract:	Навчально-методичний посібник є розробкою лекційного курсу з Технологій мікроелектроніки, в якому описуються основні технологічні процеси, що використовуються при виготовленні пристроїв інтегральної електроніки. Детальна увага приділена історії розвитку електроніки та фізичним основам базових процесів формування мікроелектронних пристроїв і методам їх реалізації. Навчально-методичний посібник буде корисним для студентів, аспірантів та викладачів технічного та природничого напрямів.
URI:	http://hdl.handle.net/123456789/23803
Appears in Collections:	Навчальні матеріали (ФТФ)

Files in This Item:

File	Description	Size	Format
Технології мікроелектроніки - конспект лекцій [Режим совместимости].pdf		13.88 MB	Adobe PDF	View/Open

DSpace JSPUI