Розмір кристалітів та внутрішні напруження гексагональних тонких плівок CdTe

Abstract

У цьому дослідженні тонкі плівки телуриду кадмію (CdTe) були отримані за допомогою магнетронного розпилення на постійному струмі, і їх структурні та пружні властивості були детально проаналізовані. Скануюча електронна мікроскопія (SEM) виявила сферичні зерна CdTe із середнім розміром приблизно 850 нм. Аналіз профілю рентгенівської дифракції (XRD), доповнений рівнянням Шеррера, графіком Шеррера, рівняннями Вільямсона–Холла (W–H) (UDM, USDM, UDEDM) і методом графіку розміру-деформацій (SSP), використовувався для визначення оцінки розміру кристалітів і різних пружних властивостей, такі як деформація, напруга та щільність енергії. Було помічено, що розмір кристалітів і власна деформація збільшувалися зі збільшенням товщини плівок CdTe, що пояснювалося різними рівнями іонізації дисоційованих атомів Te і Cd при різних потужностях магнетронного розпилення.