DSpace JSPUI
DSpace зберігає і дозволяє легкий і відкритий доступ до всіх видів цифрового контенту, включаючи текст, зображення, анімовані зображення, MPEG і набори даних
Дізнатися більше
Будь ласка, використовуйте цей ідентифікатор, щоб цитувати або посилатися на цей матеріал:
http://hdl.handle.net/123456789/16794| Назва: | Формування субмікронних рельєфних структур на поверхні сапфірових підкладок |
| Інші назви: | Formation of submicron relief structures on the surface of sapphire substrates |
| Автори: | Петров, Вячеслав Васильович Крючин, Андрій Андрійович Горбов, Іван Васильович Панкратова, Антоніна Володимирівна Манько, Дмитро Юрійович Бородін, Юрій Олександрович Шиховець, Олександр Віталійович |
| Ключові слова: | сапфирові підкладки селективне травлення захисна маска мікрорельефні структури |
| Дата публікації: | 2023 |
| Видавництво: | Прикарпатський національний університет імені Василя Стефаника |
| Бібліографічний опис: | Петров В. В. Формування субмікронних рельєфних структур на поверхні сапфірових підкладок / В. В. Петров, А. А. Крючин, І. В. Горбов, А. В. Панкратова, Д. Ю. Манько, Ю. О. Бородін, О. В. Шиховець // Фізика і хімія твердого тіла. - 2023. - Т. 24. - № 2. - С. 298-303. |
| Короткий огляд (реферат): | Проведено аналіз технологій, які дозволяють створювати мікрорельєфні структури на поверхні сапфірових підкладок. Показано, що найбільш ефективним методом формування рельєфних структур із субмікронними розмірами є йонно-променеве травлення через сформовану методом фотолітографії захисну маску. Основні проблеми при створенні мікрорельєфу на поверхні сапфірових підкладок полягають у видаленні статичного електричного заряду в процесі йонно-променевого травлення підкладок, а також отриманні захисної маски з вікнами заданих розмірів, через яку здійснюється травлення сапфірової підкладки. |
| URI (Уніфікований ідентифікатор ресурсу): | http://hdl.handle.net/123456789/16794 |
| Розташовується у зібраннях: | Т. 24, № 2 |
Файли цього матеріалу:
| Файл | Опис | Розмір | Формат | |
|---|---|---|---|---|
| 6706-Текст статті-20133-1-10-20230614.pdf | 944.28 kB | Adobe PDF | Переглянути/Відкрити |
Усі матеріали в архіві електронних ресурсів захищені авторським правом, всі права збережені.