Моделювання процесу радіаційного дефектоутворення в приповерхневих шарах ФГП, імплантованих іонами фтору

Please use this identifier to cite or link to this item: http://hdl.handle.net/123456789/13161

Title:	Моделювання процесу радіаційного дефектоутворення в приповерхневих шарах ФГП, імплантованих іонами фтору
Authors:	Остафійчук, Богдан Костянтинович Будзуляк, Іван Михайлович Морушко, Ольга Василівна Микитейчук, Петро Михайлович Яблонь, Любов Степанівна Яремій, Іван Петрович
Keywords:	іонна імплантація пара Френкеля критична доза деформований шар
Issue Date:	2011
Publisher:	Прикарпатський національний університет імені Василя Стефаника
Citation:	Остафійчук Б. К., Будзуляк І. М., Морушко О. В., Микитейчук П. М., Яблонь Л. С., Яремій І. П. Моделювання процесу радіаційного дефектоутворення в приповерхневих шарах ФГП, імплантованих іонами фтору // Вісник Прикарпатського університету. Серія: Фізика. Функціональні матеріали. – 2011. – Вип. 1. – C. 84-89.
URI:	http://hdl.handle.net/123456789/13161
Appears in Collections:	№ 1

Files in This Item:

File	Description	Size	Format
Остафійчук Б.К., Будзуляк І.М., Морушко О.В., Микитейчук П..М., Яблонь Л.С., Яремій І.П. С.84-89.pdf		268.7 kB	Adobe PDF	View/Open

DSpace JSPUI