DSpace JSPUI
DSpace preserves and enables easy and open access to all types of digital content including text, images, moving images, mpegs and data sets
Learn More
Browsing by Subject магнетронне розпилення
Showing results 1 to 3 of 3
| Issue Date | Title | Author(s) |
| 2021 | Властивості багатокомпонентної (Mn-Ni-Co-Al-Si-Ti) оксид-шпінельної ієрархічно організованої наноструктури, осадженої магнетронним розпиленням при двох температурах | Саган, П.; Фругинський, М.; Мрочка, Р.; Віш, Г. |
| 2-Dec-2016 | Особливості формування багаторівневої металізації в субмікронних структурах великих інтегральних схем | Новосядлий, Степан Петрович; Бойко, Сергій І.; Котик, Михайло Васильович |
| 2016 | Особливості формування багаторівневої металізації в субмікронних структурах великих інтегральних схем | Новосядлий, Степан Петрович; Бойко, Сергій І.; Котик, Михайло Васильович |